الناشر | IntechOpen |
رقم الكتاب المعياري الدولي 13 | 9789533079066 |
رقم الكتاب المعياري الدولي 10 | 9789533079066 |
وصف الكتاب | Micromachining is used to fabricate three-dimensional microstructures and it is the foundation of a technology called Micro-Electro-Mechanical-Systems (MEMS). Bulk micromachining and surface micromachining are two major categories (among others) in t |
اللغة | English |
الكاتب | Mojtaba Kahrizi |
عدد الصفحات | 314 pages |
Micromachining Techniques for Fabrication of Micro